微纳加工平台

发布时间: 2015-01-07      访问次数: 607

微纳加工平台主要提供微纳加工技术工艺,包括光刻、纳米压印、电子束蒸镀、湿法腐蚀、干法腐蚀、表面形貌测量,以及精细雕刻和简单的小型机加工等。

该平台的主要任务是适合于生物电子学国家重点实验室基础和应用基础研究的多样性要求,以积极灵活的方式服务于实验室的研究课题,并产生高水平的研究成果,促进生物微流体芯片器件的发展,成为国内生物微流体芯片技术与学术交流和人才培养的重要基地,同时为实验室的学术交流、合作研究提供技术平台和便利条件。

平台主任(负责人):肖忠党、赵祥伟、洪庆月、吕华

中心(实验室)组成员:石增良、刘宏等

微纳加工平台主要仪器设备
序号设备名称型号用途安放地点仪器管理人
1光刻机MA6掩模曝光长江后街吕华
2匀胶机Labspin6甩胶长江后街吕华
3热板HP8烤胶长江后街吕华
4纳米压印CNI-tool纳米压印长江后街吕华
5镀膜机DE400镀膜长江后街石增良
6轮廓仪Micro-XAM形貌测量长江后街吕华
7除湿机DH40EB除湿长江后街吕华
8除湿机DH41EB除湿长江后街吕华
9除湿机DH42EB除湿长江后街吕华
10纯水机Synergy-R制备纯水长江后街吕华
11纯水机Synergy-R制备纯水长江后街吕华
12纳米压印工作台 纳米压印长江后街吕华
13湿法腐蚀台 湿法腐蚀长江后街吕华
14显影台 显影长江后街吕华
15水池和纯水工作台 纯水长江后街吕华
16匀胶机热板工作台 匀胶长江后街吕华
17空气压缩机GA 压缩空气长江后街吕华
18精雕机F412雕刻长江后街吕华
19微型精密铣床FF500微机械加工长江后街吕华
20微型精密车床PD400微机械加工长江后街吕华
21带锯机MBS240/E微机械加工长江后街吕华
22切割机KGS80微机械加工长江后街吕华
23精密台钻床TBHTBH微机械加工长江后街吕华
24专业钻磨机IB/E微机械加工长江后街吕华
25双速曲线锯DSH微机械加工长江后街吕华
26反应离子刻蚀机Etchlab 200干法刻蚀长江后街石增良